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机译:螺旋激活反应蒸发沉积的低损耗二氧化硅基光学薄膜波导
etching; evaporation; helicons; hydrogen; light polarisation; light propagation; light transmission; optical fabrication; optical films; optical losses; optical planar waveguides; plasma CVD; rib waveguides; silicon compounds; 1310 nm; 1510 nm; SiO/sub 2/; TE polarizatio;
机译:二氧化硅基薄膜的螺旋激活反应蒸发沉积和表征,应用于光波导制造
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机译:用于波导应用的离子辅助交流反应溅射沉积的低损耗Geo_2。
机译:反应性-DC-磁控溅射与离子束溅射和电子束蒸发膜沉积的氧化膜光学性质的比较
机译:反应性蒸发的二氧化钒薄膜的光学性质和化学计量比(相变,缺陷,转换)。
机译:用于近紫外线的低损耗光波导和来自原子层沉积的Al2O3薄膜的可见光光波导
机译:反应电子束蒸发沉积Cr掺杂ZnO晶体薄膜的结构和光学性质