金属極細線のジュール熱溶接・切断とその応用

摘要

金属，半導体ナノ／マイクロ材料がrnさまざまな化学的，物理的手法によりrn作製されるとともに，これら材料が優rnれた物理的特性を有することが明らかrnとなってきている．これら極微細材料rnは次世代のナノ電気機械システムrn（Nano Electro Mechanical System：rnNEMS）やマイクロ電気機械システムrn（Micro Electro Mechanical System：rnMEMS）の構造材料や電気的，光学的，rn熱的素子としての利用が期待されていrnるが，実際の活用に際しては当該極微rn細材料の溶接，切断といった基本的なrn材料操作手法の確立が不可欠である．