In previous report, magnetostrictive susceptibility of Sm-Fe thin film was increased with small addition of carbon and nitrogen. However, excessive addition of carbon and nitrogen amount cause decreasing of megnetostrictive susceptibility and saturated magnetostriction.rnIn this study, Sm-Fe/Sm-Fe-C-N multilayer thin film was prepared by d.c. magnetron sputtering process. The highest saturated magnetostriction of Sm-Fe/Sm-Fe-C-N multilayer thin film was - 800 ppm and highest magnetostrictive susceptibility was 26 ppm/kAm~(-1) shown at R_1, = 0.5 Sm-Fe-C-N film thickness ratios.%超磁歪材料薄膜の研究は様々な成膜プロセスにより行われrnており，成膜プロセスや成膜条件によりその磁気特性が強いrn影響を受けることが知られている．超磁歪材料薄膜ではrnこれまでの研究によって内部応力が磁歪特性に大きな影響をrn及ぼす事が知られている．Limらによって，Sm-Fe薄膜rnにホウ素を添加して原子間距離を制御する事により，内部応rn力を変化させ，磁歪感受率の向上が可能であることが報告さrnれている．
展开▼
