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机译:准分子激光在μCzochralski(晶粒滤光片)过程中结晶的位置控制的硅岛的微观结构表征
Delft Institute of Microelectonics and submicrontechnology (DIMES), Delft University of Technology, Feldmann-weg 17, P.O. Box 5053, 2600 GB Delft, The Netherlands;
A1. Crystal structure; A2. Czochralski method; A2. Growth from melt; B2. Semiconducting silicon;
机译:准分子激光结晶过程中覆盖层对μ-直拉过程中晶粒生长的影响
机译:通过准分子激光结晶具有位置受控的晶界的高性能多晶硅纳米线薄膜晶体管
机译:通过准分子激光结晶制备具有位置控制晶粒的多晶硅薄膜晶体管
机译:通过硅薄膜的准分子激光晶化形成的位置控制晶粒上的单晶TFT
机译:用于单片3D集成的硅薄膜的准分子激光结晶。
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