銅張積層板における接着特性に関する考察

摘要

メタライジング法による二層基板の破壊位置および破壊面における化学結合に注目し，クロム· ニッケル合金シード層-ポリマー フィルム間接着低下メカニズムをX線光電子分光法（XPS),オージェ電子分光分析（AES)により考察した。ポリイミドフィルムに おいては，酸素プラズマ処理によるポリイミド表面へのカルボキシル基導入による活性化は，界面におけるポリイミド構造の分解さ らに金属層のクロム酸化を引き起こし，大気耐熱試験においてクロムとポリイミドのPMDA (無水ピロ メリット酸）との相互作用を 切断，接着特性が低下することを実証した。一方，その層構造により金属との相互作用が弱いとされる芳香族ポリエステルフィルム に対してはプラズマ処理による極性基導入が必須であり，そのガス種については表面の洗浄と極性基導入が期待できる，酸素または 窒素ブラズマが有効であることがその界面解析により確認された。%To understand the adhesion mechanisms of polymer metallizing clad, the influence of low pressure gas plasma modification of polyimide and aromatic polyester film on the adhesion to a plating layer from Cr Ni alloy was investigated. X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS) and Auger Electron Spectroscopy (AES) observations were employed to estimate the chemical and morphological status of the modified polyimide and aromatic polyester film surface and their fractured interfaces respectively. In the case of polyimide film, the surface treatment by oxygen plasma caused loss of adhesion durability through decomposition of polyimide structure and oxidation of Cr after atmospheric heat loading. On the other hand, in the case of aromatic polyester film, the surface treatment by oxygen or nitrogen plasma maintained its adhesion durability, which could implant polar functional groups on an inert surface of the aromatic polyester.