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Imaging ellipsometry for structured and plasmonic materials

机译:用于结构化和等离子体材料的成像椭圆形

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摘要

For approximately a decade, imaging ellipsometers have been available commercially. These allow one to measure the properties of graphene flakes, organic layers on amorphous substrates, plasmonic structures, among many other examples. These imaging ellipsometers opened a path to recognize and interpret pattern formations on surfaces or mapping field enhancement. However, for a full understanding of the optical response of patterned substrates, one should be aware that the well-known Fresnel reflection and transmission equations are, strictly speaking, not correct anymore. In this contribution, the ellipsometric response is explained in detail using heuristic physical arguments, hopefully without getting lost in the complexities of numerical computations.
机译:大约十年来,成像椭圆尺度已经在商业上提供。这些允许人们测量石墨烯片的性质,无定形基材上的有机层,等离子体结构等众同其他实施例中。这些成像椭圆磁化器打开了一条路径,以识别和解释表面上的模式形成或映射现场增强。然而,为了全面了解图案化基板的光学响应,应该知道众所周知的菲涅耳反射和传输方程严格讲,不再纠正。在这一贡献中,希望使用启发式物理参数详细解释椭圆响应,希望在不损失数值计算的复杂性。

著录项

  • 来源
    《Journal of Applied Physics 》 |2021年第11期| 113101.1-113101.7| 共7页
  • 作者

    Kurt Hingerl;

  • 作者单位

    Center for Surface and Nanoanalytics Johannes Kepter Universitat Linz 4040 Linz Austria;

  • 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);美国《生物学医学文摘》(MEDLINE);
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类
  • 关键词

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