机译:使用表面声波谐振器实验确定薄膜AIScN的电声特性
Univ Freiburg Dept Sustainable Syst Engn INATECH Lab Power Elect Emmy Noether Str 2 D-79110 Freiburg Germany;
Fraunhofer Inst Appl Solid State Phys Tullastr 72 D-79108 Freiburg Germany;
Fraunhofer Inst Mech Mat IWM Wohlerstr 11 D-79108 Freiburg Germany;
Univ Freiburg Dept Sustainable Syst Engn INATECH Lab Power Elect Emmy Noether Str 2 D-79110 Freiburg Germany|Fraunhofer Inst Appl Solid State Phys Tullastr 72 D-79108 Freiburg Germany;
机译:机电耦合系数高的高性能基于AIScN薄膜的表面声波器件
机译:用于表面声波谐振器的LiNbO_3薄膜的结构,电学和压电性能
机译:双换能器激光产生的表面声波确定多孔低k薄膜的力学性能
机译:使用SAW谐振器实验测定Al1-XScxN薄膜热电声学特性高达140℃
机译:表面声波技术用于表征微孔硅酸盐薄膜的多孔性能。
机译:SC0.09Al0.91N和SC0.18A10.82N的外延生长通过磁控溅射对表面声波应用的磁控溅射薄膜
机译:从干涉测量中提取薄膜体声波谐振器的横向本征模特性
机译:用表面声波器件监测薄膜特性:扩散,表面积和孔径分布。