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机译:快速热退火硅晶片中的滑带分布
CEIT and Tecnun, University ofNavarra, Manuel de Lardizabal 15, 20018 San Sebastian, Spain;
CEIT and Tecnun, University ofNavarra, Manuel de Lardizabal 15, 20018 San Sebastian, Spain;
Department of Physics, University of Durham, South Road, Durham DH1 3LE, United Kingdom;
Jordan Valley Semiconductors UK Ltd, Durham DH1 1TW, United Kingdom;
Department of Physics, University of Durham, South Road, Durham DH1 3LE, United Kingdom;
机译:快速热退火硅晶片中的滑带分布
机译:硅晶片快速热退火产生的空位物种
机译:n / n〜+外延硅晶片中铁的增强的内部吸杂:氮环境中高温快速热退火的影响
机译:单晶圆快速热退火中200 mm硅晶圆的退火后应力降低
机译:使用原位椭偏仪在快速热处理中测量和控制硅片温度和氧化膜厚度。
机译:通过硅烷化合物改性和快速热退火处理化学镀镍磷膜在硅片上的附着力
机译:硅晶圆快速热退火过程中的空位自陷