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机译:使用径向线缝隙天线微波等离子体源在保形砷掺杂中保持剂量的机制
Tokyo Electron Ltd., Technology Center Sendai, 650 Mistuzawa, Hosaka-cho, Nirasaki, Yamanashi 407-0192, Japan;
Tokyo Electron America, Inc., 2400 Grove Blvd., Austin, Texas 78741, USA;
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机译:使用径向线缝隙天线等离子体源对形貌硅结构进行共形掺杂
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机译:径向缝隙天线微波等离子体源的计算建模研究及与实验的比较
机译:使用径向槽天线微波排放等离子体
机译:径向线缝隙天线的缝隙设计研究
机译:保形微波阵列高温敷贴器中使用的多馈DCC缝隙天线的尺寸减小和辐射方向图整形
机译:用于全形状微波天线阵列的多种槽散热器的成型和调整大小,用于大浅表疾病的热疗治疗
机译:共形微带槽天线和天线阵