机译:无功大功率脉冲磁控溅射放电中等离子体辐条的研究
Institute of Experimental Physics II, Ruhr-University Bochum, Germany;
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机译:在AR / O-2混合物中调查双磁控激动反应性高功率脉冲磁控溅射放电的等离子体参数和放电不对称
机译:高功率脉冲磁控溅射等离子体的辐条
机译:在金属,过渡和中毒模式下操作的AR / O-2混合物中Ti反应性溅射过程中的等离子体表征:直流和高功率脉冲磁控管排放的比较
机译:反应性AR / N_2高功率脉冲磁控溅射放电的电流 - 电压时特性
机译:大功率脉冲磁控管溅射放电的表征。
机译:高功率脉冲磁控溅射
机译:等离子体诊断无功大功率脉冲磁控溅射(HipIms)放电