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机译:内置扭转传感器的压电光学微型扫描仪
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 1-2-1 Namiki, Tsukuba, Ibaraki 305-8564, Japan;
PZT; film; scanner; sensor; actuator; MEMS;
机译:通过表面微加工垂直扭转镜实现的光学扫描仪
机译:带有PZT厚膜的压电二维微扫描器
机译:带有PZT厚膜的压电二维微扫描器
机译:基于薄膜氮化铝的压电扫描微镜,内置传感器
机译:开发带有压电能量收集器的微型内置校准压力传感器。
机译:结合了吡咯烷掺杂液晶和压电传感器的光学模态传感器
机译:光学扫描仪通过表面微加工垂直扭转镜实现
机译:内置压电传感器/执行器网络的复合材料结构冲击损伤识别。