...
机译:基于原子力显微镜摩擦分析的硅应用高速铜化学机械抛光浆料的开发
Semiconductor Materials Division, Hitachi Chemical Co., Ltd., Hitachi, Ibaraki 317-8555, Japan;
Semiconductor Materials Division, Hitachi Chemical Co., Ltd., Hitachi, Ibaraki 317-8555, Japan;
Materials Research Laboratory, Hitachi Ltd., Hitachi, Ibaraki 319-1292, Japan;
机译:新型α-胺官能化二氧化硅基分散体,用于在化学机械抛光过程中在二氧化硅,氮化硅或铜上选择性抛光多晶硅和Si(100)
机译:用原子力显微镜模拟化学机械抛光
机译:谷氨酸-过氧化氢基浆料中铜化学机械抛光的电化学表征
机译:带有硅原子力显微镜提示的化学机械抛光摩擦测量
机译:用于微电子应用中的多晶硅,二氧化硅和氮化硅膜化学机械抛光的新型浆料配方和相关机理。
机译:基于原子力显微镜的生物微机电系统设备的胚胎骨骼肌肌管物理特性与收缩力产生的相关性
机译:高速液体环境调频原子力显微镜的研制 及其在方解石晶体溶解过程原子级研究中的应用
机译:原子力显微镜图像光谱和尺度分析的介电化学机械抛光机理研究