Comment on 'Bulk Acoustic Wave Analysis of Crystalline-Plane-Oriented Aluminum Nitride Films' [Jpn. J. Appl. Phys. 46, 6719 (2007)]

Ballato Arthur

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Comment on 'Bulk Acoustic Wave Analysis of Crystalline-Plane-Oriented Aluminum Nitride Films' [Jpn. J. Appl. Phys. 46, 6719 (2007)]

机译：评论“结晶面取向氮化铝膜的大声波分析”。 J.应用物理46，6719（2007）]

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《Japanese journal of applied physics》 |2015年第9期|099101.1-099101.2|共2页
作者
Ballato Arthur;
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作者单位

Clemson Univ, Dept Elect & Comp Engn, Clemson, SC 29634 USA;

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