X線光電子分光法による材料評価: 事例から学ぶ試料準備の留意点

摘要

X線光電子分光法（X-ray photoelectron spectroscopy；rnXPS）は固体の表面から数ナノメートルの深さ領域におけるrn元素の種類，組成比および化学状態に関する情報を得ることrnができる分析方法であり，ESCA（Electron Spectroscopy forrnChemical Analysis）とも呼ばれている．XPSは，一昔rn前までは，超高真空の取扱いの煩雑さ，光電子スペクトル解rn釈における複雑さなどにより，手軽な分析方法とはいえなかrnった．