机译:缝隙大小,温度和泵送压力对在线空间原子层沉积Al_2O_3的流体动力学和化学动力学的影响
Department of Mechanical Engineering, University of Wisconsin-Milwaukee, Milwaukee, WI 53201, USA;
Department of Mechanical Engineering Science, University of Johannesburg, Auckland Park 2006, South Africa;
Department of Mechanical Engineering, University of Wisconsin-Milwaukee, Milwaukee, WI 53201, USA;
In-line spatial ALD; Gap size; Temperature; Pumping pressure; Fluid dynamics; Chemical kinetics;
机译:使用在流化床中通过原子层沉积制成的铂催化剂进行电化学氢抽运
机译:以水和臭氧为氧化剂的原子层沉积过程中的工艺温度对Si衬底上Al_2O_3 / AlGaN / GaN高电子迁移率晶体管的电流-电压特性的影响
机译:射频等离子体功率对远程等离子体原子层沉积在室温下沉积的Al_2O_3薄膜的影响
机译:微血管结构对AL_2O_3的空间原子层沉积流体动力学和膜保形性的影响
机译:低压化学气相沉积反应器中硅的低温原子层外延。
机译:单晶超薄均质纳米颗粒层的非真空沉积突破:化学浴沉积和原子层沉积的更好替代方法
机译:下井电气电化学探针的开发及高压,高温地热流体的在线化学分析(中期报告 - 1977年10月结束)
机译:高压高温地热流体井下电气和电化学探针的开发及在线化学分析。中期报告:1977年10月结束。