高速応答蒸発源を用いた水晶振動子の周波数調整方法

摘要

水晶振動子の製造工程では，個々の周波数を測定しながら個々の周波数を合わせ込む周波数調整工程があり，抵抗加熱蒸発源を用いて電極物質であるAg，Au等を蒸着させることによる周波数調整方法がとられる．このときの水晶振動子の周波数測定方法には発振法が用いられていたが，測定精度を向上させるためネットワークアナライザとπ回路による伝送法を用い，かつ，測定速度を高速化するためCWスイープによる待受け法を提案し，これに適合する高速応答蒸発源の制御方法を開発した．CWスイープによる待受け法では，1ポイントのみのスイープとなるため，リニアスイープに比べて短時間で測定することが可能となった．また，短時間で精度良く調整を行うために，高レートで調整を開始し，終了時には低レートとするレートの切換を行い，かつ，待ち受けている間は一定のレートとなるような蒸発源の制御とした．その結果，通常の1000ppm程度の周波数調整量に対して，3段階でレートを切り換え，蒸着時間2.5sで±2ppmに調整することが可能となった．