ESDガンの放電配置に対する放電電流波形の依存性

摘要

IEC規定の静電気試験で機器に対して静rn電気試験器の推奨配置での接触放電が行えない状況をrn想定し，種々の放電配置に対する放電電流波形を試験rn電圧との関係において測定した結果，30nsと60nsでrnの電流値と立上り時間はIEC規格範囲内であったのrnに対して，電流ピークは配置によっては規格の公称値rnを20％上回ることが分かった．