遮断円筒導波管法による石英ガラスの複素誘電率の周波数依存性及び温度依存性評価

摘要

石英ガラスは低損失で線膨張係数が小さいことなどからマイクロ波·ミリ波回路基板の構成材料として広く用いられている.しかし，これまでミリ波带における複素誘電率の測定結果はあまり報告されてこなかった.本研究では，ミリ波帯における低損失誘電体平板材料の高精度測定法である遮断円筒導波管法を用いて，製造方法の異なる5種類の石英ガラス平板の複素誘電率の周波数依存性及び温度依存性を測定した.温度依存性測定に際し，110GHz帯まで対応可能な温度依存性測定システムを新たに開発した.その結果，石英ガラスは，ミリ波带においてわずかに周波数依存性を有し，製造方法により，ミリ波带における複素誘電率やその温度依存性が異なることを明らかにした.