銅表面酸化膜の構造調査

摘要

An analytical study for the structure of oxide film on copper surface has been performed by both methods of contact resistance measurement and Auger electron spectroscopy(AES). Gold evaporated deposited film are covered on the oxide surface to reduce constriction resistance between moving contact gold wire and copper. Contact resistances were changed as oscillatory increasing as the past study. Furthermore, atoms of surface were detected and also thickness of surface film layers were measured by AES.%銅表面の酸化膜厚とその構造について、接触抵抗の測定・オージェ電子分光から検討した。また、過去のデ」タから酸化膜厚に対して接触抵抗のグラフが単調増加せず振動的に増加したことを検証した。接触抵抗は酸化膜厚を変化させ測定する。この際、酸化膜の皮膜抵抗のみを測定するため、銅の接触面に金を蒸着させた。これにより、接触抵抗から集中抵抗を減少させることができると考えられる。さらにオージェ電子分光で酸化膜の元素を検出し、構造解析を行った。