Si細線光導波路の曲がり損失の数値解析

摘要

Bending loss of Si photonic-wire waveguides were analyzed. We introduced a simple method to estimate the bending loss by separating them into three fundamental loss factors. We also confirmed the total bending loss can be calculated with the loss values of the three fundamental loss factors by comparing with measurement results.%Si細線光導波路における曲げ損失を3つの損失要因に分解して考え，それら損失要因による損失の値を90度曲げ導波路，180度曲げ導波路，S字型導波路の3つの導波路パターンより算出することに成功した．従って，複数曲げを含む複雑な導波路パターンにおける全損失を，それら3つの損失要因の足し算によって求めることができ，従来の導波路における報告例との比較によって，その方法の妥当性を検証した．