紫外線硬化樹脂を用いたハイブリッドくし形クラッドを持つ90度光路変換素子

摘要

従来の電気配鰍こ光配線を加えた光電気混載基板をべ一スとした光インタコネクションにおいて，光素子と光配線間を90度光路変換して接続する技術が必須である.我々は，光硬化樹脂を用いた素子のコアとタラッドの高屈折率差を可能とするハイプリットくし形クラッドを有する卯度光路変換素子の提案を行った.この素子を用いることで，光素子と光配線間の光信号を90度光路変換するとともに，m×nチャンネルの送受信を可能にする.本稿では，本提案素子の試作結果及び，その特性について報告する.%The right-angle light path conversion device having a high coupling efficiency is one of the key technologies for board -level optical interconnection.rnWe propose a new right-angle light path conversion device fabricated using UV curable resin by the photomask transfer method for optical interconnection. The device has a unique structure characterized by "hybrid comb clad" composed of both resin and air. The use of this device is expected to have a small size and to improve the optical coupling efficiency between optical devices and optical wiring. Fabrication and optical characteristics of the new device were investigated experimentally and theoretically.