シリコン一石英ハイブリッド熱光学スイッチによる低消費電力化

摘要

石英系PLCスイッチの低消費電力化のために、マッハツェンダ干渉計のアーム導波路にシリコン導波路を埋め込んだ、シリコン一石英ハイブリッド熱光学スイッチを開発した。これは、石英に比べ約18倍の熱光学効果を有するシリコンを熱光学位相シフタとして利用し、低消費電力化を行なったものである。本構造を用いた熱光学スイッチを作製・評価したので報告する。%We have proposed an extremely low power PLC (Planar Lightwave Circuit) thermo-optic switch with silicon-silica hybrid structures. We fabricated an 8-channel silicon-silica hybrid switch. The extinction ratio of the switch was improved from 3 dB to more than 15 dB by using birefringence control with an Ar ion laser trimming technique. And the average power consumption is only 0.7 mW / channel, which is very attractive in relation to large-scale PLC switch devices for future optical networks.