レーザー加工用高出力光伝送ファイバの開発

摘要

薄膜型太陽電池の製造工程では、レーザスタライブ加工が幅広く用いられている。この加工プロセス では、矩形形状のフラットトップビームを用いることで、高品質かつ効率的な加工が可能となる。矩形コアファイバは、容易に矩形フラットトップビームを形成できるとともに、フレキシプルな加工システムを実現できる特徴を持つ。今回、開発した矩形コアファイバを使用することで均一な強度分布を持つ矩形フラットトップビームの形成が可能であることを示すとともに、そのビームプロファイルに影響を及ぼす要因について調査した結果を報告する。%Laser scribe processing is used widely in thin film solar cells. It realizes effective scribe processing in a high quality to use rectangle flat-top beam. Rectangular formed optical fiber can form rectangle flat-top beam easily and it has the characteristic that can build a flexible processing system. In this investigation, authors show that they have developed the rectangular formed optical fiber and it is possible to form rectangle flat-top beam to have enough uniform strength distribution by using this. In addition, authors report the result that they investigated about various factors to have an influence on a uniform strength distribution profile.