マルチバンドRF回路用集積化RFMEMS技術

摘要

マルチバンド対応の小型，低消費電力Rf回路の実現に向け，多数個，複数種類のRF MEMSデバイスとCMOSデバイスを集積化する技術を提案する，また，バンドに応じて回路構成を切り替えるためのRFMEMSスイッチに関して，（1）CMOSデバイスとのプロセス親和性，（2）半導体実装技術を適用するための可動部保護，（3）CMOS制御回路から駆動するための低電圧動作，を特徴とする構造設計とプロセス構築を行い，スイッチを試作して高周波特性を測定した結果を示す．そして，RFMEMSスイッチを応用したスイッチトインダクタ回路と，CMOS 制御回路と複数個のRFMEMSスイッチを集積化したRF CMOS-MEMSスイッチについて，試作結果を示し，提案技術の有効性を示す．%This paper describes integrated RF MEMS technology that enables integration of various kinds of RF MEMS devices and CMOS devices. RF MEMS switches that feature (1) CMOS-compatible process, (2) protection of movable parts for packaging with semiconductor packaging technology, (3) low-voltage operation for actuation by CMOS control circuits, are explained. Applications of the RF MEMS switches, such as switched inductor circuits and RF MEMS switch array with CMOS control circuits, are demonstrated.