WGモード共振器法によるミリ波誘電体基板材料の複素誘電率測定に関する検討

摘要

A measuring technique of the complex permittivities of the dielectric substrates in a millimeter wave region are presented in this report. The whispering-gallery mode resonator method is employed to evaluate them. The analysis model used with the mode matching method is modified in order to improve the accuracy of the complex permittivity evaluation for low permittivity materials. The measured results for PTFE and some substrate materials in the millimeter wave region are shown and are compared with the measured results by the cut-off cylindrical waveguide method.%本論文ではWGモード共振器法を用いた，ミリ波帯における誘電体基板材料の複素誘電率の測定について報告する．従来使用していた複素比誘電率計算用モードマッチング法は，比較的低誘電率の誘電体材料を対象とした場合，計算精度が劣化するという問題を抱えていた．そこで，今回モードマッチング法を適用する際の計算モデルを改良し測定精度の向上を試みた．PTFE他，各種材料の測定結果を示す．更に，同一試料に対して遮断円筒導波管法を用いて測定を試みた．両測定法を比較し，WGモード共振器法の測定結果を検証した．