机译:毫米波GaN-HEMT的Si离子注入技术研究
富士通研究所 〒243-0197 神奈川県厚木市森の里10-1;
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イオン注入; オーミックコンタクト; ミリ波; 短ゲート; 電流コテブス; 三届キャップ;
机译:毫米波GaN-HEMT的Si离子注入技术研究
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