高密度光配線板に向けたディスペンサによるGI型ポリマー光導波路の作製および評価

摘要

As an innovative fabrication method of multimode polymer parallel optical waveguides (PPOWs) with graded-index (GI) circular cores, "the Mosquito method" that utilizes a micro-dispenser is introduced. We experimentally demonstrate that a 5-cm long, 40-μm core diameter, and 250-μm pitch GI-circular core PPOWs (12 channels) fabricated by the Mosquito method show an inter-channel crosstalk of approximately -50 dB, which is almost 10 dB lower than that of a typical SI PPOW with square cores. Furthermore, we fabricate GI-core PPOW circuits in which curved waveguides are involved by applying the Mosquito method.%近年，ボード間，チップ間などの光配線化に期待が集まり，特にチップ間などの短距離配線にはマルチモードボリマー並列光導波路の導入が提案されている.これまで我々はデイスペンザによるポリマー光導波路の作製手法としてMosquito法を提案し，Mosquito法により作製された屈折率分布(GI)型導波路の優れた光学特性(低伝送損失，低クロストーク，及びマルチモードファイバとの低接続損失性)を示してきた.本発表では，光配線板への応用に向け，Mosquito法により曲げの加えられた導波路を作製し，その光学特性について評価した結果について報告する.