TiO_2薄膜の光触媒特性向上のための助触媒効果

摘要

TiO_2 films were prepared with RF magnetron sputtering method. The copper (Cu) and iron (Fe) films were deposited on the TiO_2 films. The effect of these films on the photocatalytic properties were evaluated. It was found that depositing Cu as a co-catalyst improved organic-decomposition properties, but deteriorated hydrophilicity. In the case of Fe, it was found that both organic-decomposition properties and hydrophilicity were improved. The deposition rates of Cu and Fe were successfully controlled by using a metallic mesh installing in the ion-coater. We confirmed that the thickness of each Cu and Fe films was one of the most important parameters to improve the organic-decomposition properties.%本研究は、RFマグネトロンスパッタリング法により生成した酸化チタン薄膜に、銅と鉄を助触媒として担持することで光触媒特性の向上を図った。その結果、鉄を担持すると有機物分解特性と光励起親水性の両方が向上し、銅を担持すると有機物分解特性は鉄以上に髙まるが光励起親水性は低下することが分かった。銅と鉄の担持にはイオンコーターを用いた。堆積速度の再現性向上を目的として、ターゲットと基板の間に金属の網を設置した。その結果、堆積速度の制御性が向上することが分かった。銅と鉄の膜厚は、有機物分解特性を向上させるための重要な変数の一つであることが分かった。