工レクトロマイクレーション

摘要

配線の原子に電流の電子が当たることにより原子が移動し，それが積み重なって破断に至る現象がエレクトロマイグレーションである．図1は，その原子の移動を模式的に表したものである． エレクトロマイグレーションは，元々は図2（b）で示したような半導体チップ上の配線，特にトランジスタの動作の影響を受けやすく，トランジス夕に近い配線やビアで課題になることも多く，研究例も多い（1）．