LMIを用いた位置指令生成による機台振動抑制を考慮した高速高精度位置決め制御

摘要

各種情報·産業機器の位置決め機構に村して高速·高精rn度化の要求が高まる中，従来から多用されてきた回転モーrn夕とボールねじを組み合わせた直動駆動方式と並び，高速·rn高加減速性，低騒音·低発塵性等の長所からリニアモー夕rn駆動方式も多く採用されている。%This paper proposes an LMI-based design approach for command shaping in the fast and precise positioning control of industrial table drive systems on machine stand. In the command shaping, the position response time and the vibration suppression of machine stand can be directly considered as the constraint conditions in LMI design frame work. The effectiveness of the proposed shaping has been verified by numerical simulations and experiments using a prototype with a 2-degrees-of-freedom robust positioning controller.