半導体開放スイッチを用いたパルス高電圧発生器

摘要

パルス大気圧放電で発生する非平衡プラズマや活性種rnは，排ガス処理，滅菌，オゾン生成，液体処理等に応用さrnれている。この技術の実用に向ける展開は，パルス電rn源の性能とコストに大きく左右される。ここで，電源の出rn力特性，安定性，コンパクトさとシンプルさは非常に重要rnな要素である。