欠陥種を考慮に入れた局所一貫性に基づく欠陥パタン照合法

摘要

現在，小型HDDは携帯機器など様々な分野へ急速に普rn及しており，記録密度の向上と共に更なる小型・軽量化がrn進んでいる。そのため，極く微細な欠陥によっても機能rn的障害が生じ，それらに対しても充分な検査が求められてrnいる。欠陥の発生はその製造プロセスと深く関係しておrnり，媒体表面の欠陥データの位置・諸属性（サイズ，種類rnなど）を示す観測点群の分布特性を調べて分類することにrnより，その発生原因の推測，あるいは歩留まり制御などがrn可能となる。