独立成分分析を用いた欠陥分布分類とx~2検定及び正確確率検定を用いた原因工程/詏備推定

摘要

デバイス製造工場には，製造に関わる様々なデータに溢rnれており，生産管理，品質管理，生産性向上等のさまざまrnな目的に対してデータを有効活用するため，CIM（ComputerrnIntegrated Manufacturing）やMES（Manufacturing ExecutionrnSystem）と呼ばれるシステムが数多く開発されている。