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机译:通过具有高k HfON栅极绝缘体的MOSFET的电特性的Si表面平坦化来改善可变性
Department of Electronics and Applied Physics, Tokyo Institute of Technology, Yokohama, Japan;
ECR plasma sputtering; Electron cyclotron resonance (ECR) plasma sputtering; HfON; MOSFETs; Si surface flattening; gate insulator; high-k; metal-oxide-semiconductor field-effect transistors (MOSFETs); variability;
机译:通过ECR等离子体溅射形成的超薄HfON栅极绝缘体,Si表面粗糙度对MOSFET特性的影响
机译:Si表面粗糙度对ECR等离子溅射形成的HfON栅绝缘体电特性的影响
机译:Si表面粗糙度对ECR等离子体溅射形成的HfON栅绝缘体电学特性的影响
机译:Al2O3高k栅极介电效应对4H-SiC低功率MOSFET电学特性的影响分析
机译:二氧化锆作为MOSFET栅极绝缘子的物理和电学特性
机译:具有高k La2O3 / ZrO2栅极电介质的肖特基势垒SOI-MOSFET
机译:Si表面粗糙度对MOSFET特性的影响,通过ECR等离子溅射形成超薄HFON门绝缘子