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机译:对使用CF / sub 4 /基混合气体操作的三重GEM检测器的蚀刻效果的研究
X-ray detection; ageing; electron multiplier detectors; etching; gamma-ray effects; position sensitive particle detectors; CERN; CF/sub 4/-based gas mixture; Calliope facility; LHCb experiment; RD activity; SEM analysis; X-rays; aging; detectors performance; etching e;
机译:用CF_4基气体混合物运行的三宝探测器中氟基杂质生产的研究
机译:基于质子束中He-CF4气体混合物的基于GEM的闪烁探测器的表征
机译:Ar-CF_4-异丁烷混合气体中运行的基于GEM的TPC原型的宇宙射线试验:Ⅱ
机译:用CF {Sub} 4基气体混合物操作的三宝石探测器的老化测量
机译:在感应耦合等离子体反应器中研究碳氟化合物沉积和蚀刻对硅和二氧化硅蚀刻工艺的影响(使用三氟化甲基),并开发了用于研究等离子体与表面相互作用机理的反应离子束系统。
机译:不同氟基混合气体使用电感耦合等离子体干法刻蚀钛酸钡薄膜的比较分析
机译:用CF4基气体混合物运行的三宝探测器中氟基杂质生产的研究