机译:高倾斜角微镜的多目标光谱阵列
cryogenics; electrodes; electrostatic actuators; etching; infrared spectroscopy; micro-optomechanical devices; micromachining; micromirrors; optical arrays; optical design techniques; optical fabrication; silicon; silicon-on-insulator; surface roughness; suspensions; 1;
机译:用于多目标光谱的均匀倾斜角微镜阵列
机译:高倾斜角微镜的多目标光谱阵列
机译:具有弯曲和扭转悬臂的双桥梁微镜的设计与开发,用于多机器光谱
机译:均匀倾斜角度微镜阵列,用于多目标光谱
机译:高填充因子,小尺寸MEMS微镜和微镜阵列的开发和应用。
机译:基于数字微镜阵列的波长柔性硫纤维光纤
机译:高倾斜角微镜的多目标光谱阵列