机译:具有可控侧壁轮廓的高阶硅纳米线阵列的制造,以实现低表面反射
Department of Electronic Engineering , National Taiwan University of Science and Technology, Taipei, Taiwan;
Antireflection (AR); holography lithography; silicon nanowire array (SNWA); single-step deep-reactive-ion etching (SDRIE);
机译:在(111)绝缘体上硅(SOl)晶片上的晶片级且高度可控的人造硅纳米线晶体管阵列,用于在液体和气体环境中进行高度灵敏的检测
机译:在(111)绝缘体上硅(SOI)晶片上的晶片级且高度可控制的硅纳米线晶体管阵列,用于在液态和气态环境中进行高度灵敏的检测
机译:通过薄膜去湿和金属辅助化学蚀刻制造的侧壁轮廓和粗糙度可控的硅纳米线
机译:全息光刻和新型单步深反应离子蚀刻具有可控侧壁剖面的硅纳米玻璃阵列的实现与新型单步深反应离子蚀刻
机译:感应耦合等离子体中的硅,二氧化硅和铌酸锂的侧壁轮廓和蚀刻机制。
机译:反射式彩色滤光片通过将硅纳米线阵列堆叠到超薄光学涂层上可以精确控制色坐标
机译:反射滤色器具有精确控制通过将硅纳米线阵列堆叠到超薄光学涂层上实现的彩色坐标