三菱ケミカル/日本製鋼所、東北大と高純度GaN基板量産技術

摘要

三菱ケミカル、日本製鋼所は、東北大学多元物質科学研究所の秩父重英教授と協力し、反りがほとhど無い、大口径・高純度なGaN単結晶基板の量産を行える低圧酸性ァモノサーマル法の開発に成功した。エネルギー機器の高効率化や省エネを促進する次世代パワーエレクトロニクスの材料となる高品質な窒化ガリウム基板の供給につながる新たな研究成果となる。