電子顕微鏡での組織解析•分析技術の進展: 銅系合金のベイナイトの組織解析

摘要

電子顕微鏡技術は，材料の微細組織や構造を観察•解析し理解するための手段として重要な役割を果たしている。特に近年の，走査型電子顕微鏡(SEM)や透過型電子顕微鏡(TEM)，走査透過型電子顕微鏡(STEM)の性能や機能の発展は目覚ましいものがあり，単に拡大像を得るだけではなく多様な情報が得られるようになっている。電子顕微鏡技術とその周辺技術の発展により，組織観察•解析の高度化だけでなく組成や状態分析の技術も高度化し，組織解析と合わせて新たな知見が得られるようになっている。材料の熱処理による組織変化は，析出や偏析等の組成の再分配を伴うことが多い。そのため，組織解析の新技術と組成分析の新技術の組み合わせは，材料の熱処理による変化の評価の際に重要なツールとなり得る。