Videotechnische Untersuchung des Deckschichtaufbaus und der Sauerstoffentwicklung beim transpassiven Elektropolieren und -strukturieren

摘要

Using video camera and recording methods, the dynamic processes involved in oxide formation and oxygen evolution during transpassive electropolishing and patterning can be followed and analysed. This allows an identification of limiting factors in the occurrence of reaction fronts. Use of an endoscope further assists an understanding of oxygen coverage and gas formation, as well as the effect of topographical features on streaming convection. Results could lead to improvements in polishing, thanks to use of pulsed flows of variable frequency and pulse duration.%Mit Hilfe der Videotechnik lassen sich dynamische Vorgänge des Schichtaufbaus und der Sauerstoffentwicklung beim transpassiven elektrochemischen Polieren und Strukturieren erfassen und analysieren. Daraus resultierend konnten die Verzögerungen im Auftreten der Reaktionsfronten ermittelt werden. Der Einsatz eines Endoskopes erweiterte die Erkenntnisse von der Sauerstoffbelegung und Gasentstehung sowie die Beeinflussung von Strukturen in der Konvektionsströmung. Die Ergebnisse ermöglichen die Verbesserung des Polierens unter Einsatz von gepulsten Strömen unterschiedlicher Frequenz und Pulsdauer.