Anwendung des Direkt-LIGA-Verfahrens zur Hersteilung von MikroStrukturen mit hohem Aspektverhältnis

摘要

Mit zunehmender Miniaturisierung von Bauteilen steigen die Anforderungen an die Bauteilgenauigkeit. Trotz des gewaltigen Fortschritts im Bereich der Feinwerktechnik reichen heute in vielen Fällen die konventionellen mechanischen Verfahren nicht mehr aus, um den gestiegenen Ansprüchen bezüglich der Präzision gerecht zu werden. Hier bietet sich das LIGA -Verfahren als Lösung an.