Eigenspannungen als wichtige Kenngröße in der Oberflächentechnik

摘要

Vor allem durch den Einsatz der Galvanotechnik in der Mikrosystemtechnik sowie der Galvanoformung sind zum Ende des letzten Jahrhunderts die Eigenspannungen von galvanisch abgeschiedenen Schichten stärker in den Vordergrund gerückt. Die hierbei hergestellten Teile erfahren je nach Art und Stärke der vorliegenden Spannungen eine makroskopische Formänderung, während bei der klassischen Beschichtungsaufgabe das Substrat durch die in Relation geringen Kräfte keine Verformung erfahren kann.