Seit dem 1. Juli 2010 fördert die Deutsche Forschungsgemeinschaft den transregionalen Sonderforschungsbereich (SFB/TRR 87) zur Plasmatechnologie. Forscher der RWTH Aachen, der Ruhr-Universität-Bochum und der Universität Paderborn werden gemeinsam grundlegende Fragestellungen bei der Entwicklung plasmagestützter Verfahren zur Herstellung funktionaler Schichten untersuchen. In dem zunächst für vier Jahre geförderten Sonderforschungsbereich werden folgende Teilbereiche untersucht: PVD-Beschichtung metallischer Substrate, chemische Gasphasenabscheidung dehnungstoleranter Barrieresysteme auf Kunststoffen sowie elementare Grundlagen der Plasmaprozesse.
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