Mikrowellenangeregte Plasmen für technische Anwendungen bis Atmosphäre

摘要

Plasmaverfahren spielen in verschiedenen Produktionstechniken eine immer wichtigere Rolle. Wünschenswert ist allerdings noch die Senkung der Kosten für die Prozessez. B. durch Arbeiten bei höherem Druck oder der Herstellung von besser reproduzierbaren Plasmen. Mit einer neuen mikrowellenangeregten Plasmaquelle können Plasmen sehr zuverlässig und bis zu Drucken nahe dem Atmosphärendruck hergestellt werden. Dadurch können die Prozeßzeiten deutlich reduziert und damit die Kosten verringert werden. Dabei zeigt es sich, daß die Prozesse selbst noch eine erhebliche Optimierung und Verbesserung erfordern. Derzeit werden die Plasmaquellen auf größere Plasmadurchmesser, Skalierbarkeit und Erweiterung der möglichen Geometrien weiterentwickelt.%Plasma processes are playing an increasing role in a widening range of production technologies. However the drive remains to lower operating costs, notably by use of higher pressures, closer to atmospheric pressure or by increased reproducibility of the plasma itself. The latest microwave-excited plasma sources create extremely reliable plasmas, capable of being sustained at close to atmospheric pressures. These in turn decrease processing times and thus costs. It is clear that much scope remains for significant optimisation and improvement. At this time, plasma sources are being developed with larger plasma diameter, scale-up potential and an extension of the range of geometries presently available.