Resonant Frequency Tuning of Piezoelectric Ultrasonic Microsensors by Bias Voltage Application to Extra Top-Electrodes on PZT Diaphragms

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Resonant Frequency Tuning of Piezoelectric Ultrasonic Microsensors by Bias Voltage Application to Extra Top-Electrodes on PZT Diaphragms

机译：通过偏置电压对PZT膜片上的额外顶部电极施加压电超声微传感器的共振频率调谐

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《Ferroelectrics》 |2010年第1期|p.48-54|共7页
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原文格式 PDF
正文语种 eng
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关键词
Ultrasonic sensor; diaphragm; piezoelectric stress; resonant frequency tuning;

机译：超声波传感器光圈;压电应力谐振频率调谐;

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