収束電子回折(CBED)法

摘要

材料の微視的な局所構造に起因する新規物性が近年多く見いだされています。結晶構造解析の主流である放射光X線•中性子回折では、大きなプロ一ブサィズにわたり空間平均した構造情報しか得られないので、このような局所構造を調べるためには透過電子顕微鏡が有利です。透過電子顕微鏡像の分解能は、対物レンズの収差補正装置の開発により近年格段に向上していますが、放射光X線•中性子回折にはまだ及びません。これは、収差補正装置を用いる現状でも、高次反射の情報が電子顕微鏡像の結像に取り込むことができていないためです。これに対して、透過電子顕微鏡で収束電子回折(Convergent-beam electron diffraction ： CBED)と呼ばれる方法を用いると、原理的に電子レンズの制約を受けずに高次反射までの情報を得て、結晶構造•さらに静電ポテンシャル分布の変化をより高い分解能で調べることができます。本稿ではCBED法の原理と応用について紹介します。