Zastosowanie fotodiody kwadrantowej do precyzyjnego justowania interferometru laserowego

摘要

A precision method of laser interferometer alignment was described. Influence of cosine error due to misalignment of laser interferometer on displacement measurement was presented. Measuring system for precision alignment of laser interferometer has been done and experimentally verified and application to visualisation laser interferometer adjustment process was developed.%W artykule przedstawiono sposób precyzyjnego justowania interferometrów laserowych na stanowiskach komparatorów interferencyjnych używanych w Laboratorium Długości w Głównym Urzędzie Miar. Przeprowadzono analizę wpływu błędu kosinusowego wynikającego z nieprawidłowego wyjustowania interferometru laserowego na wyniki pomiarów długości. Zastosowano i zweryfikowano doświadczalnie układ pomiarowy z fotodiodą kwadrantową oraz napisano program komputerowy ułatwiający proces justowania.