Neigung mikromechanisch messen

摘要

Nachdem im 1. Teil des Beitrages in Heft 8, S. 122 ff. die physikalischen und technologischen Grundlagen von Neigungs-Sensorelemen-ten erläutert wurden, bringt dieser Teil nun zahlreiche Details eines in die Praxis umgesetzten Sensortyps, der ein digital auswertbares Ausgangssignal liefert.