Messen mit Oberflächenwellen

摘要

Oberflächenwellen-Bauelemente reagieren mit ihren Eigenschaften sehr empfindlich auf äußere Einflüsse und werden deshalb normalerweise gegenüber der Umwelt hermetisch isoliert. Andererseits läßt sich dieser an sich unerw╚筺schte Effekt aber auch ganz gezielt ausnutzen und zum Bau von Sensoren für die verschiedensten Meßgrößen verwenden. Diese bieten außerordentlich hohe Empfindlichkeiten und Auflösungen; ihre relativ niedrigen Fertigungskosten lassen gute Marktchancen erwarten.