フェムト秒レーザによる微細加工技術

摘要

光による加工は光が持つ回折現象がボトルネックとなり，加工分rn解を加工に用いる光の波長以下にすることは困難であった。しかし，rnフェムト秒レーザを用いて被加工材料の多光子吸収によって加工すrnれば，回折限界の以下の加工分解能を実現でき，さらに，レーザのrn波長に対して透明な材料を用いた場合には，ナノメートル次元の3rn次元加工も可能となる。